高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵是真空技術(shù)中基本的真空獲得設(shè)備之一，其技術(shù)支持體現(xiàn)在多個方面。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵通常采用雙級高速直聯(lián)結(jié)構(gòu)，由高壓級與低壓級兩部分組成。這種設(shè)計使得泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)的氣體大量吸入與排出，當(dāng)設(shè)備獲得真空時，高壓級排氣閥封閉，高壓級入口的氣體將轉(zhuǎn)送到低壓級，并經(jīng)低壓級吸入與排出，從而獲得真空度。泵內(nèi)偏心安裝的轉(zhuǎn)子與定子固定面相切，旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動并與定子內(nèi)壁相接觸，將泵腔分為幾個可變?nèi)莘e。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和彈簧的張力使旋片泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端 蓋所圍成的月牙形空間分隔成幾個部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間容積逐漸增大,氣體被吸入而與排氣口相通的空間容積逐漸宿小，氣體被壓縮并排出。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵通常具有較高的轉(zhuǎn)速，從而提高了抽氣速率和真空度。由于采用了先進(jìn)的降噪技術(shù)，高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的噪聲較低。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵通常采用緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，使得其體積較小、重量較輕，便于攜帶和安裝。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵起動簡單快捷，無需復(fù)雜的操作過程。高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵因其優(yōu)異的性能而廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域，如在晶圓清洗、光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝環(huán)節(jié)中,高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵能夠提供穩(wěn)定的真空環(huán)境,滿足精密加工的需求。在真空鍍膜領(lǐng)域，高轉(zhuǎn)速旋片式真空泵能夠快速抽除鍍膜室內(nèi)的空氣和其他雜質(zhì)氣體，為鍍膜過程創(chuàng)造理想的真空環(huán)境。